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国内首台12英寸晶圆探针台在长研制成功
【机械商务网】 时间:2020-07-04 来源:长春日报 【收藏本页
  近日,中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司(光华微电子)宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。
  本次研发成功的晶圆探针台产品,是半导体行业重要的检测装备之一,可将参数特性不符合要求的芯片记录下来,在进入后序工序前予以剔除,从而大幅度降低器件的制造成本。
  探针台技术门槛较高,目前市场处于双强垄断态势,东京电子和东京精密两家日本公司占据了绝大部分市场份额。我国在探针台研制方面已有多年技术积累,产品以8英寸为主,光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发,先后突破了6项关键技术。今年,光华微电子推出的第一代产品机将在上海展出,并全面推向市场。
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